基于结构与工艺参数的多晶硅缺陷形成机制及数值解析.docx

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2025-04-03 发布于上海
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基于结构与工艺参数的多晶硅缺陷形成机制及数值解析

一、引言

1.1研究背景与意义

多晶硅作为一种重要的半导体材料，在现代工业和科技领域中占据着举足轻重的地位。在太阳能光伏领域，多晶硅是制造太阳能电池的关键材料，对实现清洁能源的大规模应用和缓解全球能源危机起着至关重要的作用。随着全球对清洁能源需求的不断增长，太阳能光伏产业迅速发展，多晶硅太阳能电池凭借其成本优势和较高的光电转换效率，在光伏市场中占据了主导地位。据统计，多晶硅太阳能电池在全球光伏市场的份额长期稳定在较高水平，其产量和应用规模持续扩大。在电子信息产业，多晶硅也是制造集成电路、晶体管等半导体器件的基础材料，对于推动信息技术的发展和提