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基于神经网络的半导体工艺参数优化论文

摘要：

本文旨在探讨基于神经网络的半导体工艺参数优化方法。通过分析神经网络在半导体工艺参数优化中的应用现状，提出了一种结合神经网络和优化算法的半导体工艺参数优化策略。文章首先介绍了神经网络的基本原理及其在工艺参数优化中的应用优势，然后详细阐述了优化算法的选择与实现，最后通过实验验证了所提方法的有效性和实用性。

关键词：神经网络；半导体工艺；参数优化；优化算法

一、引言

（一）神经网络在半导体工艺参数优化中的应用优势

1.内容一：强大的非线性映射能力

1.1神经网络能够处理复杂的非线性关系，这在半导体工艺参数优化中至关重要，因为工艺参数之间的关系往往是非