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高功率瞬态电磁脉冲测量用宽频带集成光波导电场传感器的研制

目录

高功率瞬态电磁脉冲测量用宽频带集成光波导电场传感器的研制（1）

一、内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2研究目的和意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3文献综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

二、高功率瞬态电磁脉冲测量技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.1高功率瞬态电磁脉冲特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.2测量技术发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.3光波导电场传感技术优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

三、宽频带集成光波导电场传感器设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.1传感器结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.2光波导材料选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.3传感器性能仿真分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.4集成化设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

四、传感器制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

4.1光刻工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

4.2化学气相沉积工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

4.3金属化工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

4.4封装工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

五、传感器性能测试与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

5.1测试方法与设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

5.2宽频带性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

5.3灵敏度与线性度测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

5.4抗干扰性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

六、应用实例与实验验证．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

6.1高功率瞬态电磁脉冲测量实验．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

6.2传感器在实际测量中的应用效果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

6.3与传统测量方法的对比分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

七、总结与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

7.1研究成果总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

7.2存在的不足与改进方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

7.3未来研究展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

高功率瞬态电磁脉冲测量用宽频带集成光波导电场传感器的研制（2）

一、内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

1.1电磁脉冲测量技术现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

1.2宽频带集成光波导电场传感器的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

1.3研究目的与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

二、电磁脉冲及光波导技术理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

2.1电磁脉冲概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．