厂务系统常见英文简称.docx

CHHW

冰热水系统

CHW

中温冰水系统

CH-XX

中温冰机

HCH-XX

热回收冰机

CWP-XX

中温冷却水泵

CHP1-XX

中温冷冻水一次泵

CHP2-XX

中温冷冻水二次泵

CH-ET

膨胀水箱

LCHW

低温冰水系统

LCH-XX

低温冰机

LCWP-XX

低温冷却水泵

LCHP1-XX

低温冷冻水一次泵

LCHP2-XX

低温冷冻水二次泵

WW

温水系统

WWP

温水泵

HW

热水系统

SH

壳管式热交换器

HWP

热水泵

CRP

蒸汽冷凝水泵

ST-CT

蒸汽冷凝水箱

CR

洁净室

MAU

新风空调

VFD

变频器

FFU

风机过滤机组

ULPA

超高效空气过滤器

DCC

干冷盘管

EXH

排气系统

GEX

一般排气

SEX

酸性排气

AEX

碱性排气

VEX

有机排气

SCR

洗涤塔

PCW

工艺制程冷却水

PCWP

工艺制程冷却水泵

PHE

板式热交换器

Filter

过滤器

UPS

不间断电源系统

DySC

电压暂降补偿器

ET

膨胀水箱

PV

工艺真空

PVP

制程真空泵

PVTANK

制程真空罐

HV

清扫清扫

GHVAC

一般空调系统

OAHU

新风空调系统

PAHU?（RCU)

循环风空调系统

FCU?

风机盘管

EF?

排风机系统

CCTV

闭路电视监控系统

NVR

网络硬盘录像机

POE

以太网供电

TV?BOX

电视盒子

CMS

中央控制系统

SSR

固态继电器

GEN

柴油发电机

CTTS

闭路过渡式转换开关

ATS

自动转换开关

UPS

不间断电源系统

SCADA

数据采集与监视控制系统

RTU

远程终端单元

GPS

全球定位系统

MTR

主变

HV

高压

LV

低压

AC

交流电

DC

直流电

REC

插座

DYSC

电压暂降补偿器

ELEV

电梯

UPW

超纯水

UF

超过滤

Polish

抛光床

MDG

膜脱气

MB

混床

MDG

膜脱气

UV

紫外线杀菌机

TOC-UV

紫外线除TOC杀菌机

RO

反渗透

MMF

多介质过滤器

AC

活性炭过滤器

WC

弱阳树脂塔

2B

阳床，阴床

DG

脱气塔

PAC

聚合氯化铝

DO

溶解氧

TOC

总有机碳

Silica

可溶解硅

TUB

浊度

SDI

污染密度指数

WWT

废水处理系统

NS

中和废水处理系统

SS

悬浮物质

COD

化学需氧量

BOD

生物需氧量

HF

含氟废水处理系统

CMP

化学机械研磨

AMT

含氨废水处理系统

PDS

制程排水系统

DWWA

一般酸碱排放管路

DCHF

浓氢氟酸排放管路

DDHF

稀氢氟酸排放管路

DB/GW

晶背研磨排放管路

DFRW-Cu

铜制程初道冲洗水排放管路

DLRW

后道冲洗水排放管路

DCMP-clean

化学机械抛光废水排放管路

DF-FAB

地板排水排放管路

DIPA

异丙醇排放管路

Dsolvent-1

有机溶剂-1?排放管路

DWWA-Photo

Photo区一般酸碱排放管路

DH2SO4-Cu

铜制程初硫酸废液排放管路

DH2?SO4

硫酸废液排放管路

DH3PO4

磷酸废液排放管路

PLB

管道设备

DW

生活用水

PW

生产用水

DWW

生活温水

MW

中水

RWRS

雨水回收系统??

IWWS

工业污废水排水系统??

EEW

紧急冲身洗眼器?

GMS

气体监控系统

CDA

洁净的干燥的空气

XCDA

高纯的洁净的干燥的空气

HPCDA

高压的洁净的干燥空气

IA

仪表空气

PN2

制程氮气

GN2

一般氮气

PH2

制程氢气

PO2

制程氧气

PAr

制程氩气

PHe

制程氦气

CQC

连续质量控制

ASU

空气分离厂

TCN

制氮机

UPO

高纯度氧

THC

碳氢化合物总量

LIN

液氮

LOX

液氧

SGS

特殊气体系统

GC

气柜

GR

气架

BSGS

大宗特殊气体系统

ESG

电子特气

VDB/P

分配阀箱/盘面

VMB/P

阀箱/盘

EFS

过流切换装置

CV

单向阀

PT

压力传感器

PG

压力表

SCBA

自我控制呼吸装置

HPM

高危害的制成材料

GDS

气体监测系统

GIS

气体信息系统

UPS

不间断电源系统

RIO

远程输入输出盘

PLC

可编辑逻辑控制器

EMO

紧急停止

SCADA

数据采集与监视控制系统

TLV

阈限值

LDL

气体检测下限

LEL

气体爆炸下限

CDS

化学分供系统

SDS

研磨液分供系统

CCB

清洁连接设备

CDM

化学分供设备

T-BOX

T型盒

E-BOX

E型盒

SG

密度计

VG

真空表

LS

液位传感器

DP?Cell

压差液位计

HEPA

高效过滤器

DCP

数据集中盘

SOP

标准操作程序

TGCM

全面气体及化学品管理

MSDS

物质安全数据表

NMP

N-甲基-2-砒咯酮

I