原子层沉积构筑氧化镓薄膜及其日盲紫外探测器性能研究.docxVIP

原子层沉积构筑氧化镓薄膜及其日盲紫外探测器性能研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的迅猛发展，光电技术在军事和民用领域的应用日益广泛，其重要性不言而喻。在众多光电材料中，氧化镓（Ga_2O_3）凭借其独特的性能，成为研究热点。氧化镓是一种超宽禁带半导体材料，禁带宽度在4.2-5.3eV之间，几乎覆盖了太阳光谱的整个日盲波段（200-280nm）。这一特性使得氧化镓在日盲紫外探测器的制备中展现出巨大潜力。

日盲紫外探测器在诸多领域有着不可或缺的应用。在军事领域，它可用于导弹制导。通过精确探测日盲紫外波段的信号，探测器能够为导弹提供准确的目标定位信息，极大地提高导弹的命中精