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富氢氟酸体系下选择性发射极工艺的优化与性能研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着全球能源需求的持续增长以及对环境保护的日益重视，太阳能作为一种清洁、可再生的能源，受到了广泛关注。太阳能电池作为将太阳能转化为电能的关键装置，其性能的提升和成本的降低对于推动太阳能的大规模应用至关重要。近年来，全球太阳能电池市场规模持续扩大，2023年全球太阳能电池产量达到541.2GW，出口量高达5.6亿个。在技术方面，行业内的主流技术包括单晶PERC技术、TOPCon技术等，且不断有新的技术和工艺涌现。

选择性发射极作为太阳能电池的关键结构，在金属栅线与硅片接触部位进行重掺杂，在电极之间进行