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综述微细加工的主要技术和特点
一、微细加工近几年展望
21世纪，人类进入微观世界。在原子分子尺度上，对物质进展操作和加工，无疑会呈现出一种相当奇特的前景，并引起各方面的广泛重视。微细加工技术的产生和进展一方面是加工技术自身进展的必定，同时也是兴的微型机械技术进展对加工技术需求的促进。超精加工在20世纪的科技进展中做出了巨大的奉献。东京工业大学的谷口纪男教授首先提出了纳米技术术语，明确提出以纳米精度为超周密加工的奋斗目标。在超周密加工技术领域起步最早和技术领先的国家是美国，其次是日本和欧洲的一些国家。美国超周密加工技术的进展得到了政府和军方的财政支持，近年，美国执行了“微米和
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