基于分子模拟探究SF6气体在多孔材料中吸附与分离机制及性能优化.docx

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2025-04-14 发布于上海
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基于分子模拟探究SF6气体在多孔材料中吸附与分离机制及性能优化

一、引言

1.1研究背景与意义

六氟化硫（SF_6）作为一种电子气体，凭借其良好的化学稳定性、耐腐蚀性和卓越的电绝缘性，在半导体、电力设备、航空航天、金属加工、医疗等诸多领域得到了极为广泛的应用。在电力系统中，SF_6气体是气体绝缘设备的关键绝缘介质，常见于开关设备（GIS）、管道输电、气体绝缘电缆（CGIT）以及气体断路器（GCB）等设备中，占据着难以替代的地位，当前约80%的SF_6气体用于高中压电力设备。在半导体领域，SF_6常被用作蚀刻气体，用于芯片制造过程中的精细加工；在航空航天领域，因其优异的性能，可应用于飞