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:::应用报告

介孔薄膜–使用GISAXS研究

多层薄膜的结构

用SAXSpoint系统的GISAXS来分析单层和多层介孔薄膜的

结构性能。

简介

目前，在未来能量转换和存储体系中，对介孔材料薄膜进行了广泛的研究。

由于这些薄膜具有多孔的材料特性，可以获得用于电子传递的高界面表面

积。控制这些界面结构对这类体系性能是至关重要的。

表征这类薄膜，掠入射小角散射（GISAXS）是一种具有高度灵敏性和节

省时间的分析方法。

在GISAXS中，X射线光束以一个非常小近乎平行的角都(αi1°)直接照

射到样品表面上。

通过改变这个入射角度，可以改变X射线穿透材料的深度。因此，紧靠薄

膜表面的结构和更深的结构能被分辨出。

Fig.1混合薄膜样品在α=0.2°的2DGISAXS

i

实验和结果

使用SAXSpoint系统，在不同入射角下对具有不同孔径形貌的两层介孔薄

膜（A+B）进行GISAXS分析。首先，样品在入射角αi=0.2°下进行探测。

在这个角度下，X射线可以穿透100s’的纳米薄膜，因此，衍射图样不仅包

含薄膜非常表面的信息，也有薄膜较深部分的信息。得到的衍射图样显示

立方中间相的特征。沿着qy方向薄层的积分（Fig.2中的黑色曲线），可

以看到在0.45nm-1左右有一个双衍射峰。

然后在更小的入射角度αi=0.05°下测试样品。现在衍射图样只包含紧靠薄

-1Fig.2沿GISAXS图样q方向积分显示在介孔结

膜表面的膜信息。沿qy切线显示只有在0.45nm左右出现单个衍射峰。y

构的差异。

另外相对多层膜，制备并测量了仅有材料A的薄膜。这个膜在讨论区也仅

仅显示一个单峰，这与前述的高角度衍射信号的双峰相符合。

在双层膜中存在的双衍射峰信号说明第二层膜的存在对介孔形貌有着很强

的效果，并且如果与纯膜组成的单层膜相比较来说，这使得扭曲的中间相

存在。

感谢中国科学院山西煤化研究所提供样品。

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