真空技术 真空泵性能测量标准方法 第5部分非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵 编制说明.pdf

《真空技术真空泵性能测量标准方法第5部分：非蒸散型吸气剂

（NEG）真空泵》编制说明

（征求意见稿）

一、工作简况

1、任务来源

本项目是根据国标委国家标准制修订计划（国标委发[2025]3号文），计划编T-604，项目

名称“真空技术真空泵性能测量标准方法第5部分：非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵”进行制定，主要起

草单位：浙江博亚精密机械有限公司，计划应完成时间2026年。

2、主要工作过程

起草（草案、论证）阶段：2025年2月10日，浙江博亚精密机械有限公司收到计划批复文件。作为标

准制定的组织单位及主要起草单位，为了高质量、按时完成本次国家标准的编制起草工作，组织成立“真空

技术真空泵性能测量标准方法第5部分：非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵”起草工作组，确定草案的工作

方案，负责草案的编写和进度控制。该项目等同转化ISO21360-5:2023，工作组广泛调研了非蒸散型吸气剂

真空泵的相关标准及文献，并对业内的非蒸散型吸气剂真空泵产品做了调研、分析，确定了本标准的主框架、

完成了标准草案初稿。随后，工作组组织了标准审查会对标准草案和编制说明进行了详细的审查，对必须注

意的事项作了深入讨论与研究，提出了修改意见，对草案初稿作了进一步的补充完善，形成标准征求意见稿，

于2025年3月17日报至秘书处。

征求意见阶段：经标委会秘书处审核，于2025年4月8日由工作组牵头负责通过网站宣传、杂志登载、

微信公众号登载等方式公开征求意见。

二、标准编制原则和主要内容

1、标准编制原则

本标准的制定符合产业发展的原则，本着先进性、科学性、合理性和可操作性的原则，以及标准的目

标性、统一性、协调性、适用性、一致性和规范性原则来进行本标准的制定工作，且与技术创新、试验验证、

产业推进、应用推广相结合，统筹推进。

本标准起草过程中，主要参照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草

规则》和GB/T1.2-2020《标准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规

则》的要求进行编写。在标准转化过程中，综合考虑生产企业的能力和用户的利益，寻求最大的经济、社会

效益，充分体现了标准在技术上的先进性和技术上的合理性。

2、标准主要内容

本标准是等同采用ISO21360-5：2023《Vacuumtechnology─Standardmethodsformeasuringvacuum-pump

performance─Part5:Non-evaporablegetter(NEG)vacuumpumps》

本标准是在GB/T40344.1的基础上，规定了非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵的抽气性能测量方法和测

量装置。

本标准适用于所有规格和类型的NEG真空泵。包括:丸形、碟形、环形、带形、块状和筒形非蒸散型吸

气剂。

3、解决的主要问题

本标准等同采用ISO21360-5：2023，是对GB/T40344.1的补充与完善。GB/T40344.1中规定了真空泵

性能测量的基础方法与装置，但非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵有别于其他种类真空泵，其抽气性能取决于

吸附量和黏着几率而非抽速，因此GB/T40344.1无法适用于其性能参数的测量和抽气性能的评价。当前，

我国尚无非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵标准，测量方法分散且不统一，本标准的发布实施不仅填补了国内

空白，也为非蒸散型吸气剂（NEG）真空泵设计、制造、验收、检测及使用环节提供规范指导，便于制造商、

应用方和客户的选型和使用，规范了产品评价体系，为市场提供了一个统一的评价尺度，实现国内外产品的

性能比对。同时，也为真空泵产业提供良好地技术支撑，促进产品技术提升与性能优化，对规范市场，指导

生产，提高产品的技术性能和安全可靠性，更好地满足市场和使用需要，加速推进我国NEG真空泵在核心

技术攻关、工艺优化及市场拓展等环节的转型升级具有十分重要的作用。

三、主要试验（或验证）情况

本标准是方法标准，不需要进行试验或验证。

四、标准中涉及专利的情况

本标准不涉及专利问题。

五、预期达到的社会效益、对产业发展的作用等情况

非蒸散型吸