磁控溅射设备说明书教材.pdfVIP

卬国科学院沈阳科学仪器册制卬阳有眼公司

SKYTechnologyDevelopmentCo.,Ltd.ChineseAcademyofSciences

国家真空仪器装置工程技术的容中阳

StateEngineeringResearchCenterofVacmInstrmentandDevice

中国科学院沈阳科学仪H股份有限公司

国家真空仪益装置工程技术研中心

奥空技术装备内家工程实通■

声明:

感谢您购买中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称沈阳科仪公司）

的设备请您在使用该设备之前认真阅读本说明书当您拿到该说明书时请认

真阅读以下声明。如不接受本声明,请立即与本公司联系,

明。

1.本说明书所有内容未经沈阳科仪公司书面J孽,任伊人均不得

（复制、扫描、备份、转借、转发

翻译成其它语言、传播以及思可那自方式）|噂1中提供本吗

全部内容。如有违反沈阳科仪崔）将保留切』利。A

2.本说明书仅供使用者参考可作为使知者所仆祭司学习

本说明书所详述的内遗漏的可能。内容有

疑问,清与沈阳科仪

关于知识产格遵守知识产权保加

司所有

保护知识产权、促进创新发展；运用知识产权、发展知识经济；打击盗版侵权、

繁荣文化事业；保护知识产权、激励自主创新；加强知识产权保护、规范市场经济

秩序；保护知识产权从你我做起！人人应该做到这样！

前舌:

首先感谢购买我们的设备本着对您负责的精神并为了确保给您提供最优质

的售后服务特别为您准备了本手册请您耐心读取相关信息。

您的义务

请您在使用过程中将发生故障的操作步骤填写在用户反馈问题清单中,我们将

参考此表内容尽我们最大的能力在最短的时间内完成维修。

如何使用本手册

如果您是初次使用该设备那么您需要通读用户手册。如果您是一位有经验的用

户则可以通过目录查找相关信息。/Bw1

本手册涉及的字体及符号说明：

字体的大小直接反应父、子关系，符号说明见下表:

*、

指示性说明代表意义_

没有先后顺1芦之4匕是比口和■高一级

描

目录

详细描述性说明!后顺序之分

有先后顺序之分

有利于深刻认识系统，并且可以避免不

区提示性说明

必要的故障发生

必须严格遵守的内容，否则会发生严重

A警告性说明

事故

目录