第四章-波长色散X射线荧光光谱仪.pptVIP

第四章波长色散X射线荧光光谱仪的结构和性能§4.1概述

1948年，Fridman和Birks应用盖格计数器首先研制出波长色散X射线荧光光谱仪。波长色散X射线荧光光谱仪本身的基本结构并没有根本的变化，依然是由光源—X射线管、滤光片、原级(入射)准直器、分光晶体、二级(出射)准直器、探测器和测角仪等主要部件组成。波长色散X射线荧光光谱仪分为扫描型(通用型)、多元素同时分析(多道)型谱仪和扫描型与固定元素通道组合在一起的组合型三大类。

通用型波长色散X射线荧光光谱仪，是对试样中待测元素逐一进行角度扫描顺序进行测定的；多元素同时分析型波长色散X射线荧光光谱仪是每个元素预先配置一个固定的道，同时分析多个元素；所谓组合型有两种，一种以通用型为主，为节省测量时间对经常要测定轻元素如硼或痕量元素使用固定通道，另一种是使用多元素同时分析型谱仪的同时，加一扫描道，为测定其它元素提供方便。到了20世纪九十年中期，设计了一种新型波长色散X射线荧光光谱仪(如飞利浦公司的产品Venus200波长色散谱仪)，每一待测的轻元素有一固定的分光晶体，但探测器则几个元素共享，这与早先固定道仪器每一待测元素有一测角仪(含准直器、晶体和探测器)是有很大差异的。PHILIPS公司相继推出的莫尔条玟和激光光学定位的光学传感器(DOPS)，取代θ/2θ机械齿轮传动装置，DOPS谱仪角度定位精度提高到0.0001。，定位准确度为0.0025。。使波长色散X射线荧光光谱仪分光室内部有足够的空间，可根据要求进行组合，即以顺序道为主，另加多个固定道。这样可以加快分析速度，使得通用型波长色散X射线荧光光谱仪分析速度接近或达到同时式谱仪的速度。PHILIPS公司将能量色散谱仪中多道分析仪（MCA）代替先前的脉冲幅度分析器，它用在计数和控制的电子线路系统，使线性计数率有大幅度提高。在非线性度小于1%时，使用流气式正比计数管计数率可达2000kCPS，封闭和闪烁计数管为1500kCPS，提高一个多数量级。采用以双路多道分析器为基础的高分辨和高速计数电路(DMCA)系统，采数时间间隔由单个MCA计数电子系统的0.12秒缩短为0.01秒。对周期表中原子序数从9号氧到92号铀进行半定量分析，扫描时间从900秒缩短为50秒。提供给X射线管的高压电源的稳定性均有明显改进，已达到百万分之几的量级，保证了谱仪长期工作稳定性为了对某些材料进行相分析或价态分析，可用普通波长色散X射线荧光光谱仪依据待测元素特征谱的峰位或谱形的变化对化学态进行分析MagiX谱仪结构光源X射线管

X射线管本质上是一个在高电压下工作的二极管，包括一个发射电子的阴极和一个收集电子的阳极(即靶材)，并密封在高真空的玻璃或陶瓷外壳内。发射电子的阴极可以是热发射或场致电子发射，热阴极X射线管是根据热电子发射的原理制成的。发射电子的阴极，一般由螺旋状的灯丝组成，灯丝的材料是钨丝。灯丝在一稳定的灯丝电流加热下发射电子,在灯丝周围形成一定密度的电子云,电子在阳极高压作用下，被加速飞向阳极，与阳极材料中原子相互作用，发射X射线,如第一章所述该射线称作原级X射线谱，它由特征X射线和连续谱组成。灯丝发射的电子流是发散的。为获得足够通量密度的X射线，电子轰击阳极靶面的区域应限制在一定范围内，通常称作靶面焦斑。电子从阴极飞向阳极的路径中，设有一聚焦极，保证电子在阳极高压的加速下飞向阳极，能在阳极表面形成一个较大的焦斑。焦斑的形状和大小取决于灯丝和质焦极的结构、阴极和阳极之间的距离，以及靶面相对于电子束入射方向的倾角等因素。X一射线荧光光谱仪用的X射线管,应具有如下特点：(1)要求能连续的工作于较高的功率水平，不仅要求能在高电压、高电流情况下工作，也能在低电压高电流情况下工作，且不同工作状态的切换需在1～5秒内完成,并保证稳定；(2)提供较大的X射线通量，因此允许采用较大的焦斑，窗口较大；3)在保证X射线管使用寿命的情况下，窗用材料铍片应尽可能薄；Walen等[3]的研究工作表明，厚度为25μm铍窗的X射线管对于波长0.08～2nm的X射线透过率为厚度75μm铍窗的X射线管10～100倍，薄窗靶特别适用于长波段的X射线荧光的测定。若仅用于测定较重元素如金、银和铜的低分辨率谱仪，所用X射线管管窗材料亦可是硼酸盐玻璃(如硼酸锂铍玻璃)；(4)靶材纯度要高,杂质谱线的强度应小于总强度的1%；为减少X射线的散射和吸收，通常要求靶面抛光成镜面；(5)为满足多种分析要求，可配备多种靶材供选择,但端窗靶一般