有色金属-铱靶材编制说明.pdf

《铱靶材》有色行业标准

编制说明

（预审稿）

《铱靶材》标准编制组

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年月

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一、工作简况

1.1任务来源

根据2024年4月全国有色金属标准化技术委员会《关于转发2024年第一批有色金属

国家标准、行业标准团体标准制(修)订项目计划及征集起草单位的通知》（有色标委[2024]39

号）的要求，有色行业标准《铱靶材》项目由全国有色金属标准化技术委员会归口，项目计

划编号：2024-0074T-YS,完成年限为2026年3月，标准起草单位为：云南省贵金属新材料

控股集团股份有限公司。有色行业标准项目《铱靶材》由：云南省贵金属新材料控股集团股

份有限公司、云南贵金属实验室有限公司等单位共同制订。

1.2标准制定的必要性

铱是一种银白色的贵金属材料，具有高熔点、良好的耐腐蚀性能和高温抗氧化性能，使

得铱及其合金在耐高温、抗腐蚀等领域有着不可替代的作用。铱的传统应用主要有航空发动

机的电火花塞、氧化物晶体如蓝宝石等制备过程中所使用的铱坩埚、高温热电偶和抗氧化涂

层等。近年来，随着现代电子信息技术的发展，铱及其合金的应用范围不断扩大，其应用逐

渐由块体材料向功能薄膜发展，铱及铱合金薄膜的重要性日益凸显。

靶材是一种具有高附加值的特种电子产品。通常铱及铱合金薄膜是通过铱及铱合金靶

材，采用磁控溅射、离子束溅射等物理气相沉积的方法制备而成。由于其较强的化学稳定性、

优良的导电性和导热性，被广泛应用于括航空航天、半导体、新能源汽车等领域，比如，铱

涂层是目前抗氧化涂层的首选材料，同时，铱也是半导体存储、微电子机械系统（MEMS）、

反铁磁自旋器件中使用的关键材料，其主要用途是半导体存储CMOS电容器中的氧势垒材

料、微电子机械系统（MEMS）中的电极层和磁电子器件中的反铁磁钉扎层。随着铱功能膜

层结构的升级，对铱薄膜的成分和厚度均匀性提出了更高的要求，这样就需要对铱靶材的成

分、杂质、以及批次稳定性等都需要有更进一步的改善。

铱属于铂族金属，主要矿产地为南非、津巴布韦等地，我国没有规模以上的矿产铱，国

产铱主要来自废旧铱产品等的回收提纯。同时，铱存在低温脆性和高温塑性的确定，具有较

大的加工难度。近年来，随着我国电子行业的发展，对稀贵金属溅射靶材的需求也不断增加，

我国已经成为稀贵金属靶材的使用大国，随着国内相关领域如微电子机械系统及自旋电子器

件等的商业化进程加速发展，对铱靶材的需求逐渐增加。

1.3标准项目的可行性及拟解决的问题

随着国内相关产业和应用的发展，铱靶材正朝着大尺寸、超高纯度和性能稳定性方向发

展。制定并建立铱靶材行业标准，对于保证产品质量，规范行业发展，促进相关技术进步具

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