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激光扫描光栅刻线方法及误差补偿研究

摘要

光栅传感器作为制造业中不可或缺的组成部分，已经有百年的应用历史。随着科学

技术的不断发展，精密生产器械的不断进步，对于高精度光栅传感器的制造也提出了新

的要求。目前我国制造业的发展逐渐向着高质量、高精密方向不断发展，作为精密仪器

的眼睛，必须走在发展的前端。当前阶段我国的光栅传感器远远不及国外的产品，只能

应用于低精度的加工生产，许多技术都存在着“卡脖子”的情况。

在当前光栅制造技术中应用最为广泛的是掩膜光刻方法，这种方法的光刻方法精度

取决于掩膜的精度。同时掩膜制造技术存在相应缺点：光刻掩膜在替换回收中会对环境

产生离子污染，同时光刻掩膜的制造价格昂贵且在使用时容易被光刻胶污染。并且由于

摩尔定律的存在导致这种方法的进展越来越慢，其研究前景已经可以预见。所以未来光

刻技术必须要进行改变。

激光直写技术具有无污染、结构工艺简单以及加工尺寸大、效率高的优点。同时可

以避免掩膜套刻对准的环节，进而提高光刻的精度。目前已经有多个国家开始对激光直

写技术进行深度研究。本文开展激光扫描光栅刻线方法及误差补偿研究。首先对激光振

镜直写光栅系统的总体结构从机械机构和控制结构进行研究分析，接着对激光振镜直写

光栅系统中存在的误差进行了研究。将激光振镜系统存在的误差分为聚焦误差、振镜扫

描误差、控制延时误差和机械安装误差。并对误差提出相应的优化方法。对于其中的振

镜扫描误差进行了数学建模和数据仿真。然后对于其中的主要误差-枕形误差进行了误

差补偿。本文采用了双重曲线拟合方法，分别从角度和扫描坐标两方面进行误差补偿。

先反推出振镜扫描角度的映射公式，然后引入相应的f(x)与f(y)进行角度应用优化。对

于坐标根据光栅尺条纹的结构特性，设计了特殊的拟合公式对扫描枕形误差进行了补偿，

经过双重优化补偿将最大误差降低98.5%。然后解析振镜通讯协议xy2-100，并将振镜

的扫描区域进行数据化分割，计算出扫描分辨率。进行实验扫描刻线出一列光栅条纹。

证明了激光振镜直写技术的可行性。最后对激光直写技术存在的缺陷和未来的发展提出

了自己的建议。对于以后光栅传感器的制备技术具有一定的借鉴意义。

关键词：光栅制备；激光直写；二维振镜；误差补偿

Researchonlaserscanninggratingmethodanderror

compensation

Abstract

Asanindispensablepartofthemanufacturingindustry,opticalencodersensorshavebeen

usedforahundredyears.Withthecontinuousdevelopmentofscienceandtechnology,precision

productioninstrumentscontinuetoprogress,forthemanufactureofhigh-precisiongrating

sensorsalsoputforwardnewrequirements.Atpresent,thedevelopmentofChinas

manufacturingindustrygraduallytowardshighquality,highprecisiondirectionofcontinuous

development,astheeyesofprecisioninstruments,mustwalkintheforefrontofdevelopment.

AtthecurrentstageofChinasgratingsensorisfarlessthanforeignproducts,canonlybeused

inlow-precisionprocessingproduction,manytechnologiesexistinthenecksituation.