GB/T 33523.600-2025产品几何技术规范(GPS)　表面结构：区域法　第600部分：区域形貌测量方法的计量特性.pdf

ICS17.040.20

CCSJ04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT33523.6002025ISO25178-6002019

产品几何技术规范()表面结构:

GPS

:

区域法第部分区域形貌测量

600

方法的计量特性

()—:—:

GeometricalroductsecificationsGPSSurfacetextureArealPart600

pp

Metroloicalcharacteristicsforarealtoorahmeasurinmethods

gpgpyg

(:,)

ISO25178-6002019IDT

2025-03-28发布2025-03-28实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT33523.6002025ISO25178-6002019

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

3.1区域形貌测量方法…………………1

3.2x和扫描系统……………………8

y

3.3光学系统……………9

3.4工件的光学属性……………………11

4用于表面结构测量的标准计量特性……………………12

()………

附录资料性最大可测局部斜率数值孔径

Avs13

()………………

附录资料性与矩阵模型的关系

BGPS