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实时外差剪切散斑干涉测量技术：原理、特性与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科学技术的飞速发展中，光学测量技术作为一种高精度、非接触的测量手段，在众多领域发挥着关键作用。实时外差剪切散斑干涉测量技术作为光学测量领域的重要组成部分，以其独特的优势和广泛的应用前景，成为了研究的热点。

该技术基于光学干涉原理，巧妙地利用激光散斑携带的物体信息，实现对物体表面形变、位移等参数的高精度测量。激光散斑，这一在激光照射到物体表面时形成的颗粒状图样，曾被视为全息技术的“祸根”，但自20世纪60年代后期，其携带被测物体信息的特性被发现，由此开启了散斑计量学的新篇章，为测量物体位移和形变提供