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- 2025-04-26 发布于浙江
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CASME
团体标准
T/CASMEXXXX—XXXX
碳化硅晶体长晶用碳化钽涂层产品技术规
范
Tantalumcarbidecoatingproducttechnicalrequirements
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XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
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