尺蠖启发下的粘滑复合型旋转驱动器：设计、分析与实验验证.docx

尺蠖启发下的粘滑复合型旋转驱动器：设计、分析与实验验证

一、引言

1.1研究背景与意义

在精密工程领域，粘滑复合型旋转驱动器因其高精度、高分辨率和良好的动态性能，在扫描显微镜、生物医药及光学制造等诸多前沿领域发挥着不可或缺的作用。随着科技的飞速发展，各领域对高精度、大行程的旋转驱动需求日益增长，粘滑复合型旋转驱动器作为实现精密运动的关键部件，其性能直接影响着整个系统的精度和可靠性。例如，在半导体制造中，需要高精度的旋转驱动器来实现晶圆的精确加工和检测；在生物医学成像中，要求旋转驱动器能够精确控制样本的旋转角度，以获取高质量的图像。因此，研发高性能的粘滑复合型旋转驱动器具有重要的现实意义。