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電阻應變式感測器

電阻式感測器的基本原理：將被測物理量的變化轉換成電阻值的變化，再經相應的測量電路顯示或記錄被測量值的變化。其種類繁多，應用廣泛。按照其工作原理可分為：變阻器(電位器)式、電阻應變式、固態壓阻式、熱敏電阻式、氣敏電阻式、磁敏電阻式等。電阻應變式感測器是基於測量物體受力變形所產生應變的一種感測器，最常用的傳感元件為電阻應變片。電阻式感測器

固態壓阻式感測器半導體單晶矽材料在受到外力作用，產生肉眼根本察覺不到的極微小應變時，其原子結構內部的電子能級狀態發生變化，從而導致其電阻率劇烈的變化，由其材料製成的電阻也就出現極大變化，這種物理效應叫壓阻效應。利用壓阻效應原理，採用三維積體電路工藝技術及一些專用特殊工藝，在單晶矽片上的特定晶向，製成應變電阻構成的惠斯登檢測電橋，並同時利用矽的彈性力學特性，在同一矽片上進行特殊的機械加工，集應力敏感與力電轉換檢測於一體的力學量感測器，稱為固態壓阻感測器。以氣、液體壓強為檢測對象的則稱為固態壓阻壓力感測器。

固態壓阻式感測器主要特點：1.靈敏度高2.精度高3.體積小、重量輕、動態頻響高4.性能穩定、可靠性高5.溫度係數小6.適應介質廣7.安全防爆在以大規模積體電路技術和電腦軟體技術為特色的智能感測器技術中，由於它能做成單片式多功能複合敏感元件來構成智能感測器的基礎，因此倍受矚目。/autooo/chuangan/jishu/2007-10-22/18869.html

1－敏感柵；2－基底；3－引線；4－覆蓋層；5－黏合劑；6－電極；電阻應變片的基本結構

電阻應變效應是指金屬導體在外力作用下發生機械變形時，其電阻值隨著所受機械變形(伸長或縮短)的變化而發生變化的現象。應變片壓阻效應：半導體材料在受到外力作用時，其電阻率ρ發生變化的現象。電阻應變片的工作原理

電阻應變片的工作原理康銅C≈1

電阻應變片的工作原理對金屬材料，電阻率幾乎不變：S0通常取1.8～3.6。對於半導體材料，以壓阻效應為主。半導體材料壓阻效應的大小和符號與材料、力的方向、載流子濃度等有關，根據半導體材料的壓阻效應：

特點：比金屬絲式靈敏度高，輸出電流大，但非線性嚴重，溫度穩定性較差。電阻應變片的工作原理

電阻應變片的種類

電阻應變片的種類

電阻應變片的種類

箔式應變片優點:①可製成多種複雜形狀、尺寸準確的敏感柵，其柵長最小可做到0.2mm，以適應不同的測量要求；②橫向效應小；③散熱條件好，允許電流大，提高了輸出靈敏度；④蠕變和機械滯後小，疲勞壽命長；⑤生產效率高，便於實現自動化生產。金屬箔的材料常用康銅和鎳鉻合金等。目前使用的應變片大多是金屬箔式應變片。電阻應變片的種類

在單晶矽上擴散p型雜質電阻應變片的種類

電阻應變片的種類

採用真空沉積或高頻濺射等方法，在絕緣基片上形成厚度在0.1μm以下的電阻材料薄膜的敏感柵——厚度大約為箔式應變片的十分之一以下。優點：應變靈敏係數大，可靠性好，精度高，容易做成高阻抗的小型應變片，無遲滯和蠕變現象，具有良好的耐熱性和衝擊性能等。用化學氣相澱積法制備薄膜，成膜溫度低、可靠性好、系統簡單等。薄膜應變片：電阻應變片的種類

電阻應變片將應變轉換為電阻的變化量，測量電路將電阻的變化再轉換為電壓或電流信號，最終實現被測量的測量。電阻的變化一般採用電橋電路測量。電橋按其電源性質的不同可以分為直流電橋和交流電橋。直流電橋只能測量電阻，而交流電橋可用於測量電阻、電感和電容的變化。直流電橋原理：利用一個或數個橋臂的阻值變化引起電橋輸出電壓的變化；橋臂可由電阻式敏感元件構成。測量電路及溫度補償

測量電路及溫度補償

直流電橋常見連接形式半橋單臂半橋雙臂全橋測量電路及溫度補償

半橋單臂：假設：半橋雙臂：全橋：測量電路及溫度補償

半橋單臂：半橋雙臂：全橋：測量電路及溫度補償

當全橋四個橋臂阻值變化同號時，即：有：測量電路及溫度補償

測量電路及溫度補償

測量電路及溫度補償

α——敏感柵材料的電阻溫度係數；S——敏感柵靈敏度係數；β1、β2——分別為敏感柵和試件的線膨脹係數；測量電路及溫度補償

溫度引起的電阻變化總值：測量電路及溫度補償

測量電路及溫度補償

溫度升高引起應變片靈敏度下降，電橋輸出電壓下降；熱敏電阻的阻值隨溫度升高而減小，使電橋的供電電壓隨溫度升高而增加，適當選取分流電阻R0的值，可以補償由於應變片靈敏度變化引起的輸出電壓的變化，達到溫度補償。測量電路及溫度補償熱敏電阻補償法原理

利用適當的布片和組橋方式消除溫度變化和複合載荷作用的影響，獲得最大的輸出靈敏度。1）應變片應佈置在彈性元件產生應變最大的位置，並沿主應力方向貼片；貼片處的應變儘量與外載荷呈線性關係（避開