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超精密加工技术在半导体制造中的三维集成技术进展报告.docx

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    超精密加工技术在半导体制造中的三维集成技术进展报告参考模板

    一、项目概述

    1.1项目背景

    1.1.1全球信息技术发展

    1.1.2我国超精密加工技术现状

    1.1.3超精密加工技术对我国半导体产业的意义

    1.2项目意义

    1.2.1提升自主创新能力

    1.2.2优化产业资源配置

    1.2.3推动产业链完善

    1.3项目目标

    1.3.1掌握关键工艺

    1.3.2取得设备、工艺、质量控制突破

    1.3.3培养专业人才

    1.3.4推动产业高端、绿色、智能化发展

    二、超精密加工技术在半导体制造中的应用现状

    2.1超精密加工技术的核心工艺

    2.1.1光刻技术

    2.1.2蚀刻工艺

    2.2

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