激光衍射测量技术.pptVIP

2006年3月6日星期一6、衍射频谱检测法2.二次博里叶变换检测法利用透镜衍射的二次傅里叶变换．获得被检缺陷的像，用目视或光电检测直接判定缺陷大小以及缺陷的位置。第31页，共46页，星期日，2025年，2月5日2006年3月6日星期一第三节激光衍射测量的应用一、构成各种物理量的传感器1)流量2)压力/形变3)温度4)电场/磁场5)折射率第32页，共46页，星期日，2025年，2月5日2006年3月6日星期一二、涂层厚度/表面形状/位移测量第33页，共46页，星期日，2025年，2月5日测控教研室*激光衍射测量技术2006年3月6日星期一第1页，共46页，星期日，2025年，2月5日2006年3月6日星期一本章的主要内容主要内容:第一节激光衍射测量原理第二节激光衍射测量方法第三节激光衍射测量的应用内容提示:重点:衍射及衍射现象在测量中的应用学习方法:衍射测量的思维与方法第2页，共46页，星期日，2025年，2月5日2006年3月6日星期一第一节激光衍射测量原理衍射/绕射:波能够绕过障碍物而弯曲地向它后面传播的现象，称为波的衍射现象波:声、光、电磁、机械波障碍物：大小、形状对现象均有影响现象：与波的波长、障碍物的大小、光源/观察的位置有关第3页，共46页，星期日，2025年，2月5日2006年3月6日星期一第一节激光衍射测量原理光的波长短，对很小的缝隙/屏才有明显的衍射现象，激光出现后，衍射现象才实际应用到测量中：1973年Canada国家研究所T.R.Pryer提出了激光衍射测量的方法衍射测量的特点：全场，非接触，稳定性好，自动化程度高，精度高第4页，共46页，星期日，2025年，2月5日2006年3月6日星期一一、菲涅耳和夫琅和费衍射划分：按光源、障碍物/衍射物，观察屏三者之间的距离或位置划分菲涅耳衍射和夫琅和费衍射（1）菲涅耳衍射/近场衍射光源—障碍物—接收屏距离为有限远（2）夫琅和费衍射/远场衍射光源—障碍物—接收屏距离为无限远 第5页，共46页，星期日，2025年，2月5日2006年3月6日星期一一、菲涅耳和夫琅和费衍射夫琅和费衍射是我们衍射测量的基本原理其常用的光路图如下：第6页，共46页，星期日，2025年，2月5日2006年3月6日星期一二、单缝测量原理1.单缝衍射现象其观察屏的光强分布：有菲涅尔衍射原理有由基尔霍夫条件知：则光强分布：第7页，共46页，星期日，2025年，2月5日2006年3月6日星期一二、单缝测量原理单缝衍射的特点：1）中央明纹最亮、最宽，它的宽度为其他各级明纹宽度的两倍2）次级明纹的光强随级次的增加而逐渐减小

3）若光程差不等于λ/2?的整数倍，亮度介于最明与最暗之间。4）条纹的方向平行于缝的方向5）暗条纹β=kπ即第8页，共46页，星期日，2025年，2月5日2006年3月6日星期一2.单缝测量的原理当θ不大时则有:由暗条纹现的公式知:第9页，共46页，星期日，2025年，2月5日2006年3月6日星期一2.单缝测量的原理由此可以得出以下结论:测定LXk的大小,就能计算狭缝宽度测定bXk的大小,就能计算L的大小如果Xk变化,L已知,反映了狭缝的变化,可实现在线测量由公式可知,暗条纹间距为固定值所以通过测量条纹间距,也可以测量以上各值第10页，共46页，星期日，2025年，2月5日2006年3月6日星期一3.单缝测量的能力测量分辨力反映了测量最小分辨能力,级数越高L越大,波长越长,分辨力越高反映了狭缝对尺寸的放大倍数,即放大了1/t倍Xk的测量分辨力,决定了狭缝的测量分辨力第11页，共46页，星期日，2025年，2月5日2006年3月6日星期一3.单缝测量的能力测量精度由于一般激光频率稳定度可达10-6,可以忽略波长的影响考虑环境因素的影响,一般测量的精度可达±0.5um测量量程b越小,β越大,衍射明显b越小,XK变大,光强分布减弱,高级次条纹不明显b越大,XK变小,条纹变密,传感器不易放置,灵敏度下降Lb2/λ,仪器尺寸限制,b基本确定第12页，共46页，星期日，2025年