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钛氮氧化物薄膜的制备工艺优化及其在片上微型超级电容器中的性能研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，电子设备正朝着小型化、集成化和多功能化的方向迅猛迈进。从可穿戴设备到植入式医疗器件，从物联网传感器到微型卫星，这些先进电子设备对其内部储能元件和功能薄膜材料提出了极为严苛的要求。片上微型超级电容器作为关键的储能部件，以及钛氮氧化物薄膜作为具有独特性能的功能材料，在这一发展趋势中扮演着举足轻重的角色，成为了科研领域的研究热点。

片上微型超级电容器凭借其卓越的功率密度、快速的充放电能力、超长的循环寿命以及出色的稳定性，能够满足现代电子设备对快速能量响应和高可靠性的需求。在可穿戴设