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基于DMD无掩模灰度光刻技术的螺旋相位板快速成型方法研究

摘要

涡旋光束广泛应用于光通信容量扩展、通信安全提升、微粒捕获与操控和超高分辨

率成像等领域，涡旋光束的快速产生方法越来越重要，螺旋相位板凭借涡旋光束转换效

率高、制备简单等优点被广泛应用于产生涡旋光束。制备螺旋相位板的方式多种多样，

其中无掩模光刻技术凭借其成本低、加工效率高等优势，在微纳结构制备领域占据了重

要位置。

在三维结构加工中，相比于传统的二维光刻，三维微纳加工需要同时考虑到结构高

度的加工精度以及结构形貌复杂性。常用的逐点曝光加工三维结构的方法，在加工过程

中常常面临制备效率低的困难。为此，本文主要围绕设计高精度、高效率的无掩模光刻

系统以及基于无掩模灰度光刻技术制备携带特定拓扑荷数的阶梯型螺旋相位板开展了

如下相关研究：

(DigitalMicromirrorDeviceDMD)

首先，研究了数字微反射镜器件，空间光调制器工

作原理以及无掩模光刻系统组成，根据DMD投影曝光原理设计和搭建了一套高精度、

高均匀性和高加工效率的数字无掩模光刻系统。研究双胶合透镜作为准直系统的准直效

果；研究了基于微透镜阵列组的匀光系统及其匀光效果；考虑到光刻物面与像面离焦对

加工质量的影响，研究了双远心投影物镜。并对该系统将进行各项指标测试，物镜出射

光束均匀性高达93.09%，可实现的最小线宽和分辨率为0.954μm，曝光速度高达43.18

2

mm/min，符合需求。

此外，以无掩模光刻系统为基础研究了三维灰度光刻曝光剂量调控技术，以便实现

更高精度的三维结构面型控制。以单次投影曝光技术为基础，研究等梯度曝光剂量的曝

光深度建立三维光刻曝光模型，通过对数和多项式组合拟合优化三维光刻模型，最终将

误差降低至0.64μm以下，满足应用需求。研究等高分层切割三维结构模型，生成不同

层的数字掩模版，结合三维光刻模型精准控制不同层的曝光剂量，可快速有效地获得高

质量的三维微结构轮廓。

最后，研究螺旋相位板生成涡旋光束方法，优化AZP4620光刻胶的工艺流程，根

据三维灰度模型和螺旋相位板三维模型制备了不同拓扑荷数的螺旋相位板。搭建了夫琅

禾费衍射装置研究高斯光束透过螺旋相位板，衍射光束为暗中空涡旋光束。研究和仿真

了涡旋光束的干涉特性，涡旋光束与平面波干涉后可产生叉形干涉图样，与球面波发生

干涉后可产生环形螺旋干涉图样，根据干涉图样可以检测涡旋光束所携带拓扑荷数和轨

哈尔滨工程大学专业学位硕士学位论文

道角动量。搭建了检测涡旋光束与高斯光束发生干涉的马赫曾德干涉仪实验装置，针对

马赫曾德干涉仪调试相干光干涉困难的问题，通过增加分光棱镜后的反射镜优化光路可

快速实现干涉光路调试。实验结果表明，使用基模高斯光束经过无掩模光刻系统制备的

螺旋相位板能够产生特定拓扑荷数的涡旋光束，光强呈现中心暗四周亮的环形分布；干

涉仪检测结果表示，拓扑荷数固定的螺旋相位板产生的特定的OAM涡旋光束，即涡旋

光束的拓扑荷数与螺旋相位板的拓扑荷数一致，表明了无掩模灰度光刻模型制备螺旋相

位板的准确性。

关键词：涡旋光束；螺旋相位板；无掩模光刻技术；三维灰度光刻；DMD

基于DMD无掩模灰度光刻技术的螺旋相位板快速成型方法研究

Abstract

Vortexbeamsarewidelyusedinthefieldsofopticalcommunicationcapacityexpansion,

communicationsecurityenhancement,particlecaptureandmanipulation,andultra-high

resolutionimaging,etc.Therapidgenerationmethodofvortexbeamsisbecomingmoreand

moreimportant,andspiralphaseplatesarewidelyusedtogeneratevortexbeamsbyvirtue