激光多普勒干涉仪介绍.ppt

LasermeasurementsareOptodynebusiness激光多普勒干涉仪介绍第1页，共21页，星期日，2025年，2月5日美国光动公司OPTODYNE，INC.*第2页，共21页，星期日，2025年，2月5日美国光动公司总裁王正平教授*第3页，共21页，星期日，2025年，2月5日激光干涉仪测量原理比较激光多普勒干涉仪其它激光于涉仪测量基准激光波长激光波长测量原理多普勒效应分光干涉测量方法测量多普勒频率偏移(测量相位差)测量干涉条纹数双频(FM)LDDMHP技术发明年代1985年单频激光干涉仪1960年双频激光干涉仪1975年*第4页，共21页，星期日，2025年，2月5日迈克逊干涉仪1860年MICHELSON干涉仪白光参考镜反射镜分光镜探测器产生干涉测量光束参考光束*第5页，共21页，星期日，2025年，2月5日单频激光干涉仪1960年单频激光干涉仪激光角锥反射镜角锥反射镜分光镜探测器测量光束参考光束产生干涉*第6页，共21页，星期日，2025年，2月5日线偏振光线偏振光双频激光干涉仪1970年双频激光干涉仪激光角锥反射镜角锥反射镜偏振分光镜探测器测量光束参考光束产生干涉*第7页，共21页，星期日，2025年，2月5日激光多普勒干涉仪1985年LDDM电光调制、外差式激光角锥反射镜探测器光电调制*第8页，共21页，星期日，2025年，2月5日位移测量安装比较*第9页，共21页，星期日，2025年，2月5日对光方便*第10页，共21页，星期日，2025年，2月5日MCV-500主要技术指标序号技术指标名称指标1激光稳定性0.1ppm(特殊订货可小于0.05ppm)2分辨率0.01微米3测量精度(不确定度)1ppm(特殊订货可小于0.5ppm)4测量范围15米(特殊订货可加长到100米)5光靶最大移动速度3.6米/秒6电源电压90～265VAC7电源频率50～60赫8操作环境温度5～38℃9高度0～3000米10相对湿度0～95%*第11页，共21页，星期日，2025年，2月5日MCV-500选购附件的测量功能振动测量角偏测量滚珠丝杠动态测量圆形轨迹主轴精度分轴步进对角线位移测量*第12页，共21页，星期日，2025年，2月5日直线位移测量靶标反射镜MCV-500反射镜移动方向*第13页，共21页，星期日，2025年，2月5日非接触主轴精度测量MCV-500主轴聚光镜MCV-500+DI-500*第14页，共21页，星期日，2025年，2月5日陀罗径向跳动曲线采样：2000点/秒*第15页，共21页，星期日，2025年，2月5日LasermeasurementsareOptodynebusiness