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摘要
测微辐射热计(microbolometer)红外热成像技术具有高度实用性、灵敏性和可靠
性等优点，具有响应速率快且器件结构简单等优点，在航空、医疗等多个领域发挥
着重要作用。相较于非晶硅和氧化钒等常见热敏层材料，锰钴镍氧化物(Mn-Co-Ni-O，
MCNO)具有更高的电阻温度系数（TCR，TemperatureCoefficientofResistance）系数。
本文使用磁控溅射法-电子束蒸发复合法在蓝宝石(AlO)衬底上制备亚微米级MCNO
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