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基于粒子的方法测量氮化镓探测器的电离能
目录
内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1.1氮化镓探测器的发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1.2电离能测量的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.2国内外研究综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.2.1传统测量方法的局限性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
1.2.2基于粒子的测量方法概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
1.3本文研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
基于粒子的测量方法原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
2.1粒子与物质的相互作用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
2.1.1电离过程的物理机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
2.1.2粒子能量损失的计算模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
2.2基于粒子的电离能测量方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
2.2.1方法的基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
2.2.2关键参数的确定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
实验装置与设置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
3.1实验设备组成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
3.1.1粒子源的选择与配置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
3.1.2能量分析器的性能指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
3.2实验样品制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
3.2.1氮化镓探测器的制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
3.2.2样品表面处理与表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
3.3实验流程与参数设置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
3.3.1实验步骤的详细说明．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
3.3.2关键实验参数的优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
实验结果与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
4.1数据采集与处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
4.1.1实验数据的记录与整理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
4.1.2数据处理方法的介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
4.2电离能测量结果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
4.2.1不同能量粒子的电离能数据．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
4.2.2电离能与粒子能量的关系分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
4.3结果讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
4.3.1实验结果与理论计算的对比．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
4.3.2方法误差来源的分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
5.1研究结论总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
5.1.1基于粒子方法测量电离能的可行性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52
5.1.2方法优势
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