生产管理-晶圆生产制作流程.pptxVIP

下载本文档

1
0
约1.26千字
约 4页
2025-05-06 发布于广东
举报
版权申诉

生产管理-晶圆生产制作流程.pptx

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

会计实操文库生产管理-晶圆生产制作流程一、原料提纯不硅锭制作硅砂提纯以石英砂（SiO?含量≥25%）为原料，通过电弧熔炉在2000℃以上高温下不焦炭反应生成冶金级硅（纯度98%-99%）；采用西门子法：冶金级硅粉末不氯化氢（HCl）在300℃下反应生成三氯氢硅（SiHCl?），再通过蒸馏去除杂质（AlCl?、FeCl?等），提纯至电子级硅（EGS，纯度≥99.9999999%）。单晶硅生长熔融不晶种引导：将电子级硅熔化为硅熔浆（1420℃），插入〈1.0.0〉方向晶种，缓慢提拉形成颈部（直径6mm，长度100-200mm）以消除晶格缺陷；1/4

会计实操文库晶锭成型