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电火花铣削微流道底部台阶特征对流体压降的多维度解析与优化策略

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代工业的飞速发展，微流道在众多领域得到了广泛应用，如微机电系统（MEMS）、生物医学工程、微化工等。在这些应用中，微流道的性能直接影响着整个系统的运行效率和稳定性。电火花铣削加工作为一种重要的微加工技术，因其具有非接触加工、加工精度高、不受材料硬度限制等优点，在微流道加工中发挥着关键作用。

在电火花铣削加工微流道的过程中，由于电极损耗、加工工艺等因素的影响，微流道底部往往会形成台阶特征。这些台阶特征虽然在微观尺度下看似微小，但却可能对微流道内的流体流动产生显著影响，其中流体压降是一个重要的研