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面向表面缺陷检测的磁驱动FBG位移传感器研究

摘要

表面缺陷检测关乎产品的质量与使用安全，它在金属箔材等生产过程中是必不可少

的环节。在现如今的智能制造时代，无人值守的自动化生产车间中亟需一些高精度的智

能缺陷检测设备。针对传统缺陷检测中存在的精度低、噪声大、抗干扰能力差、造价昂

贵以及不易于长距离传输等问题，本文设计了一种基于磁力驱动的悬挂式光纤布拉格光

栅位移传感器，并针对它在自动化缺陷扫描中存在的接触误差和噪声问题，提出了基于

压痕模型的卡尔曼滤波补偿算法。最终的结果证明，该光纤布拉格光栅位移传感器能在

保证位移精度的前提下用于复杂生产环境中的表面缺陷检测。主要的研究内容概括如

下：

1

（）研究总结了光纤传输的耦合模理论，进行了光纤光栅敏感机理的推导，探讨

了光纤光栅温度与应变交叉敏感特性以及目前通用的温度补偿方案。设计了一种磁传动

结构将输入位移转化为作用在悬挂着的光纤光栅上的磁拉力，并初步设计了双光栅差分

温度补偿方案。

2

（）基于麦克斯韦电磁理论，通过数值计算和有限元分析的方法对磁传动结构中

位移与磁拉力的关系进行建模，并设计了实验进行验证。根据仿真设计和验证结果进一

步优化了传感器的结构参数，建立了位移传感器的敏感机理模型。最后加工制作了传感

器零部件并进行了光纤封装。

3

（）搭建了传感器测试系统，主要包括光纤光栅波长信号的解调系统、上位机采

集显示系统、标准位移输入系统以及温度控制系统。测试分析了光纤布拉格光栅位移传

感器的静态性能，包括温度灵敏性、位移灵敏性、线性程度、迟滞性和可重复性，并探

索了永磁体初始间距与位移灵敏度之间的关系。进一步测试研究了传感器的动态性能，

包括阶跃响应、脉冲响应和斜坡响应。

4

（）基于固体接触变形理论，结合传感器测量原理，研究构建了测量过程中的压

痕误差模型。针对运动测量中存在的噪声问题，设计了融合压痕模型的卡尔曼滤波补偿

算法，实现了表面缺陷扫描数据的滤波补偿效果。最后设计了扫描实验，证实了算法的

有效性和传感器的实用性，表明该光纤布拉格光栅位移传感器具备表面缺陷检测能力。

基于磁力驱动的悬挂式光纤布拉格光栅位移传感器不仅具有较高的位移灵敏度，而

且在很大程度上提升了传感器的抗冲击性能，进而使得表面缺陷扫描成为可能。针对表

面缺陷检测中存在的压痕误差和噪声干扰问题，提供了一种基于卡尔曼滤波的补偿算

哈尔滨工程大学硕士学位论文

法，极大地提升了表面缺陷检测的准确度。总之，该传感器设计使得表面缺陷的精密检

测和信号的长距离传输成为可能，也为光纤光栅传感器的应用领域拓宽了空间。此外，

这种借助磁力转换的光纤光栅敏感方式也为传感器的创新研发提供了新颖的探索思路。

关键词：缺陷检测；光纤布拉格光栅；位移传感器；磁驱动；卡尔曼滤波

面向表面缺陷检测的磁驱动FBG位移传感器研究

ABSTRACT

Surfacedefectdetectioniscrucialtothequalityandsafetyofproducts,anditisan

essentialstepintheproductionprocessofmetalfoilandothermaterials.Inthecurrenteraof

intelligentmanufacturing,thereisanurgentneedforhigh-precisionintelligentdefect

detectionequipmentinunmannedautomatedproductionworkshops.Inresponsetothe