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T_CSTM 00313—2021_基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法.pdfVIP

T_CSTM 00313—2021_基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法.pdf

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    ICS17.180.01

    CCSN35

    团体标准

    T/CSTM00313—2021

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    基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

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    Testingmethodofopticalconstantsfor

    0pticalthinfilmsbasedonspectro-photo-metricmethod

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    2021-10-18发布2022-01-18实施

    中关村材料试验技术联盟发布

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    T/CSTM00313—2021

    前言台

    本文件参照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》和GB/T

    20001.4《标准编写规则第4部分：试验方法标准》给出的规则起草。

    请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

    本文件由中国材料与试验团体标准委员会光电材料及产品领域委员会（CSTM/FC60）提出。

    平

    本文件由中国材料与试验团体标准委员会光电材料及产品领域委员会（CSTM/FC60）归口。

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