TCPIA 0106—2025 《晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范》.pdf

ICS27.160

CCSF12

团体标准

T/CPIA0105—2025

晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范

Safetydesignspecificationforhorizontalfurnaceforcrystalline

siliconphotovoltaiccells

2025—03—15发布2025—03—30实施

中国光伏行业协会  发布

T/CPIA0105—2025

目  次

前言III

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4缩略语2

5结构2

5.1概述2

5.2净化台系统3

5.3炉体机箱系统3

5.4气源柜系统4

5.5电气模块5

6主要危险5

6.1机械危险5

6.2电气危险7

6.3高低温危险7

6.4噪声危险7

6.5非电离辐射危险7

6.6有毒有害物质危险8

6.7人体工学危险8

6.8控制电路失效危险9

7安全要求与措施9

7.1机械危险的安全要求与措施9

7.2电气危险的安全要求与措施13

7.3高低温危险的安全要求与措施13

7.4噪声危险的安全要求与措施13

7.5非电离辐射危险的安全要求与措施13

7.6有毒有害物质危险的安全要求与措施14

7.7人体工学危险的安全要求与措施16

7.8安全回路的要求16

8安全标识17

8.1概述17

8.2设备安全标识要求17

9使用说明18

9.1挂牌上锁18

I

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9.2重物的安装维护18

9.3高处作业18

II

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晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范

1范围

本文件描述了晶体硅光伏电池用卧式炉管可能产生的威胁人身安全、设备安全和产品安全的风险因

素，规定了应采取的防护措施和设计要求。

本文件适用于晶体硅光伏电池用扩散炉、氧化炉、退火炉、PECVD、LPCVD、PEALD等卧式炉管设备。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB12142—2007便携式金属梯安全要求

IEC60204-1:2016机械安全机械的电气设备第1部分:一般要求（Safetyofmachinery—

Electricalequipmentofmachines—Part1:generalrequirements）

ISO13849-1:2023机械安全控制系统的安全相关部件第1部分：设计的一般原则（Safetyof

machinery—Safety—Relatedpartsofcontrolsystems—Part1:Generalprinciplesfordesign）

ISO13857:2019机械安全防止上肢和下肢到达危险区域的安全距离（Safetyofmachinery—

Safetydistancestopreventhazardzonesbeingreachedbyupperandlowerlimbs）

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文