基于激光干涉测量原理的轮廓测量系统研究：技术、应用与创新.docx

基于激光干涉测量原理的轮廓测量系统研究：技术、应用与创新

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业制造和科学研究领域，轮廓测量技术一直是确保产品质量、推动技术创新的关键环节。随着科技的飞速发展，对物体轮廓测量的精度、速度和适应性提出了越来越高的要求。激光干涉测量原理作为一种高精度的非接触测量技术，凭借其独特的优势，在轮廓测量领域发挥着日益重要的作用。

激光干涉测量技术的基本原理是利用激光的高度相干性，将一束激光分成两束或多束，使其经过不同的光程后重新相遇并产生干涉现象。通过分析干涉条纹的变化，如条纹的移动、弯曲、间距改变等，可以精确地获取被测物体的轮廓信息，包括表面形貌、形状误差、尺寸变化