原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
摘要
钛合金具有机械强度高、抗疲劳、抗氧化、耐腐蚀等优良性能，越来越广泛地应用
于集成电路、MEMS、光学模具等高精度器件中。目前，国内外对钛合金CMP工艺的
研究较少，因此探究化学机械抛光工艺对钛合金加工效率以及表面质量具有重要意义。
本文探究了钛合金化学机械抛光中工艺参数对加工性能的交互影响，分析了钛合金化学
机械抛光去除机理，建立了粒子群优化BP网络模型。主要研究内容如下：
1.化学机械抛光液对加工质量的影响分析
采用正交试验探讨了PH值、氧化剂浓度、磨料浓度对钛合金化学
您可能关注的文档
- 镉胁迫对刺槐(Robinia+pseudoacacia)生长与生理特性的影响.pdf
- 面向农业领域的问句分类系统.pdf
- 面向计算思维培养的PBL教学模式设计与实践--以中职《C语言程序设计》课程为例.pdf
- 面向计算思维培养的初中Python教学模式设计研究.pdf
- 麋鹿生茸期激素、生长因子变化及TGF-β信号通路初探.pdf
- 自退让性固结磨粒抛光垫在化学机械抛光中的接触机理.pdf
- 超声波协同碳酸氢钠对减盐猪肉糜及肌原纤维蛋白品质的影响.pdf
- 辽金元时期鹿纹的审美特征及应用设计研究.pdf
- 郑汴都市区公园绿地生态系统文化服务供需评价及优化研究.pdf
- 纳米颗粒流体润滑的摩擦学特性及其在钛合金攻丝中的应用.pdf
文档评论（0）