《微装配与MEMS仿真导论》全套教学课件.pptx

71宏模型的概念

72建立宏模型的方法

73含能量域耦合问题的宏模型;

对于MEMS部分的设计者来说，为选择合适的物理参数和几何参数以设计出符合要求的MEMS器件，就要对MEMS器件的物理特性有一个全面的了解。为此，必须进行MEMS的器件级模拟。一般这一步是通过对MEMS器件进行3D的网格划分，采用离散的方法进行数值模拟的。当MEMS器件不太复杂时，也可运用解析的方法。离散方法有很多种，最常用的是有限元法(FiniteElementMethod，FE方法)。;对不同领域的MEMS器件，现已开发出多种器件级分析与模拟工具(如ANSYS)，但MEMS器件(如传感器或执行器等)必须与其他的辅助电路、控制电路连接在一起，以形成完整的系统功能。由于彼此处于一个极小的空间范围内，相互之间物理量的耦合很强。;为准确预测整个系统的最终性能，必须进行系统级的模拟。系统级模拟常用的工具为电路模拟软件SPICE或数值计算工具MATLAB。直接把器件模型数值模拟的结果用于电路模拟理论上是有可能的，因为对于一个3D的FE模型来说，其有限元分析在那些与外部电路连接点上的结果可用作系统模拟时的器件参数值。但这样得出的大多数MEMS模型会极其复杂，往往会有上百个自由度，系统级模拟也将花费惊人的机时。此外，由于采用不同的模拟器，很可能会出现不收敛的情况。因此，实际中必须根据MEMS器件