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半导体制造2025年技术创新——超精密加工技术应用策略研究.docx

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    半导体制造2025年技术创新——超精密加工技术应用策略研究范文参考

    一、半导体制造2025年技术创新——超精密加工技术应用策略研究

    1.1超精密加工技术背景

    1.2超精密加工技术发展趋势

    1.2.1高精度加工技术

    1.2.2高效加工技术

    1.2.3绿色环保加工技术

    1.3超精密加工技术应用策略

    1.3.1强化基础研究

    1.3.2推动产学研合作

    1.3.3加强人才培养

    1.3.4完善政策支持

    1.3.5拓展国际合作

    二、超精密加工技术在半导体制造中的应用现状及挑战

    2.1超精密加工技术在半导体制造中的应用现状

    2.1.1材料加工领域

    2.1.2结构加工领域

    2.1.3

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