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试卷第PAGE1页共NUMPAGES1页
电子与通信技术《集成电路工艺原理考试试题》新版
姓名:_____________年级:____________学号:______________
题型
选择题
填空题
解答题
判断题
计算题
附加题
总分
得分
评卷人
得分
1、填空题:芯片硅片制造厂可以分为6个独立的生产区:扩散区、()、刻蚀区、()、()和抛光区。
2、判断题:干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法,湿法腐蚀一般只是用在尺寸较大的情况下刻蚀器件,例如大于3微米。
3、判断题:溅射是个化学过程,而非物理过程。
4、问答题:简述CSP的
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