T_ZZB 2283—2021_半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉.pdfVIP

ICS29.050

CCSQ53

团体标准

T/ZZB2283—2021

半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

Ultra-highpuritygraphitepowderforsemiconductorsiliconcarbide

crystal

2021-08-26发布2021-09-26实施

浙江省品牌建设联合会发布

T/ZZB2283—2021

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4产品命名1

5基本要求1

6技术要求2

7试验方法3

8检验规则3

9标识、包装、运输和贮存4

10质量承诺5

附录A（资料性）杂质元素6

I

T/ZZB2283—2021

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本文件由浙江省品牌建设联合会提出并归口管理。

本文件由浙江省标准化研究院牵头组织制定。

本文件主要起草单位：中钢新型材料股份有限公司。

本文件参与起草单位：冶金工业信息标准研究院。

本文件主要起草人：杨辉、肖绍懿、姜阅、吴厚政、张逊熙、王晓远、朱东锋、徐建平、毛玉珍、

刘升、潘小平、王鑫鑫、周童、汪彦龙。

本文件评审专家组长：徐海平。

本文件由浙江省标准化研究院负责解释。

II

T/ZZB2283—2021

半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

1范围

本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术

要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。

本文件适用于纯度达到5N（99.999wt%）以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件，不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

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