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《GB_T 43493.2-2023半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法》最新解读.pptxVIP

《GB_T 43493.2-2023半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法》最新解读.pptx

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    《GB/T43493.2-2023半导体器件功率器件用碳化硅同

    质外延片缺陷的无损检测识别判据第2部分：缺陷的光学检测方法》最新解读

    一、标准价值：光学检测规范的重大意义

    （一）统一光学检测行业标准

    在《GB/T43493.2-2023》发布前，碳化硅同质外延片缺陷的光学检测缺乏统一准则。各企业、实验室采用的光学检测设备、操作流程、结果判定方式各不相同，导致检测数据缺乏可比性和权威性。该标准的出台，明确了光学检测的设备要求、检测步骤、缺陷识别与判定规则，为行业提供了统一的“度量衡”，使不同主体的检测结果能够相互印证，推动行业规范化发展。

    （二）

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