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ICS19.08
CCSK80
TGVS
团体标准
T/GVS007—2022
台
平
息
射频电源动态阻抗测试方法
信
TestmethodfordynamicimpedanceofRFgenerator
准
标
体
团
国
全
2022-07-11发布2022-07-11实施
广东省真空学会发布
台
平
息
信
准
标
体
团
国
全
T/GVS007—2022
目次
1范围3
台
2规范性引用文件3
3术语和定义3
4原理3
平
5测试环境条件4
6仪器设备4
测试仪器设备4
息
网络分析仪4
射频功率测量仪4
7测试方法4
射频电源工作状态4
信
测试负载工作状态4
测量步骤6
8测试报告7
准
附录A（资料性）射频功率测量值与负载设备阻抗测量值记录格式8
附录B（规范性）射频电源动态阻抗系数的计算方法9
B.1反射系数（Γ）计算9
B.2等功率图绘制10
标
B.3动态阻抗系数（增益和最大梯度角）计算11
附录C（规范性）最佳电缆长度计算方法15
C.1应用场合15
体
C.2等离子体阻抗轨迹角计算15
C.3额外线缆长度计算16
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