《GB_T 42720 - 2023电子特气 六氯乙硅烷》最新解读.pptxVIP

《GB/T42720-2023电子特气六氯乙硅烷》最新解读

一、六氯乙硅烷：电子特气领域的璀璨新星

（一）技术特性——高纯度与低杂质的完美融合

六氯乙硅烷在半导体制造中堪称中流砥柱，其突出的高纯度、低杂质含量特性，使其成为制备高质量薄膜、外延生长等关键工艺的不二之选。在集成电路、太阳能电池板等电子工业核心领域，六氯乙硅烷于沉积工艺中广泛应用，显著提升了产品性能与良品率。例如，在先进的芯片制造工艺里，利用六氯乙硅烷进行薄膜沉积，能够有效降低芯片的漏电率，提升芯片的运行速度与稳定性。

（二）应用领域——广泛布局，助力多行业发展;

1.半导体行业：在半导体制造