特殊气体供应流程作业指导书.pdf

标准作业指导书

文件名称特殊气体供应流程作业指导书编写

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A01创建

分发部门

□FC-公共设施部

特殊气体供应流程作业指导书

1.目的

正确掌握特殊气体供气步骤，并确保在供气过程中操作人员的安全。

2.范围

适用于特殊气体系统。

3.摘要

3.1FAC：负责对气体主管路系统施工过程的全程监督，并组织相关部门进行气体系统供气前的检查，以及气体供

应至Take-off点或VMBstick点及机台工作。

3.2EHS：负责配合FAC对气体主管路的检查，并在送气前后安全类相关事宜的检查及监督。

3.3设备部：提供机台气体系统Turn-on需求，进行气体初次送达机台前的准备工作（包括相关测试），配合气体送

达至机台。

3.4品质部：负责气体品质检验工作。

4.名词定义

4.1特殊气体系统：由气瓶柜/架、阀门箱和输送管道系统组成，包括

CH4、3%TMB/H2、20%PH3/H2、20%GeH4/H2、SiH4气体。

4.2GC：gascabinet,即气瓶柜。

4.3VMB：气体分配阀门箱。

4.4VMBStick：气体分配阀门箱分支管。

4.5PPE：Personalprotectiveequipment，即个人防护用品，由于气体存在一定的危害

特性，因此，在操作过程中，必须准备一些必要的个人防护用品，如全面式/半面式呼吸器、SCBA等。

5.操作流程

5.1.1根据施工图纸确认管路走向是否正确,管路尺寸是否符合要求

5.1.2检查管路上所有阀门开关情况,确认所有阀门状态正常

5.1.3检查管路标签粘贴情况,包括管路标签颜色是否正确,气体流向是否正确

5.1.4检查管路在穿墙处的防火填塞是否完成

5.1.5检查管路的测试报告，包括气体管路QC测试及GMS系统测试，且所有相关人员都已经签字确认

5.1.6检查阀门开关状态挂牌是否正确

5.1.7检查系统相关设备运行是否正常，包括紧急切断和远程关闭是否正常

5.1.8检查系统相关设备排风系统是否完成，并能够正常排风

5.1.9检查系统相关尾气处理装置是否正常运行

5.1.10通知ERC部门进行供气前警示广播，将供气区域隔离，通知所有在该区域人员暂时离开，在供气前检查确

认已经没有非相关人员

5.1.11通知相关部门，在中控室安排GMS系统监控人员，随时监控供气过程中的压力变化

5.1.12操作人员穿戴PPE及SCBA，使用对讲机通知各相关部门准备送气

5.1.13操作人员在相关人员陪同下，缓慢开启钢瓶阀门，并使用设备上的调压阀将气体压力调到需求供应压力

5.1.14在压力稳定后，确认设备相关阀门均已经开启，然后缓慢开启主管路阀门

5.1.15阀门开启后，每隔5分钟左右观察一次压力情况，若供气端压力与管路压力差距过大，则暂时停止开阀动作，

待管路压力稳定后再继续开阀

5.1.16供气完成后,将开启的阀门挂牌更换,在主管路上挂上已送气的标示,并作好警示标示

5.1.17供气结束后，通知ERC部门，广播告知全场送气已经完成

5.2供气过程中注意事项

5.2.1在供气过程中严禁明火,所有人员禁止吸烟,并将供气区域进行隔离

5.2.2供气人员必须穿戴PPE及SCBA

5.2.3在供气过程中注意观测管路内压力变化情况,如发现任何异常情况应立即停止送气

5.2.4在管路沿线每隔一段距离设立一名监察人员,来回巡视,如发现任何异常情况应立即通知送气操作人员停止送

气

5.2.5送气结束后,再次检查