气体泄漏紧急处理流程作业指导书.pdf

标准作业指导书

文件名称气体泄漏紧急处理流程作业指导书编写

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A01创建

分发部门

□FC-公共设施部

气体泄漏紧急处理流程作业指导书

1.目的

气体系统发生报警及泄露情况时,相关人员处理方式指导,避免气体泄漏发生时产生严重后果,保障

公司设备财产及公司员工安全

2.范围

适用于特殊气体(H2、SiH4、20%GeH4/H2、20%PH3/H2、3%TMB/SiH4、CH4)

3.权责

厂务部：对气体主管路系统进行操控、组织相关部门进行气体泄漏检查处理及气体恢复供应至Take-off或

VMBstick点及机台工作。

EHS,

部：配合对气体系统泄露发生时组织全厂疏散气体泄漏现场控制。

设备部：协助进行气体管路由Take-off或VMBstick点与机台二次配的管路泄露检查处理，负责机台恢复气

体送达机台前的准备工作（包括相关测试），配合气体送达至机台。

TGM:,Take-offVMBstick

团队负责泄露现场设备操作气体泄漏检查处理及气体恢复供应至或点及机台工作。

4.名词定义

大宗气体系统：由供气系统和输送管道系统组成，包括N2\He\Ar\H2气体。

/H2SiH420%GeH4/H220%PH3/H2

特殊气体系统：由气瓶柜架、阀门箱和输送管道系统组成，包括、、、、

3%TMB/SiH4CH4

、气体。

GCgascabinet,,

：气体供应机台即气瓶柜。

JVMB：气体分配阀门箱

VMBStick：气体分配阀门箱分支管。

PPEPersonalprotectiveequipment

：，即个人防护用品，由于气体存在一定的危害特性，因此，在操作过程

/SCBA

中，必须准备一些必要的个人防护用品，如全面式半面式呼吸器、等。

TGM:TotalGasManagement,即全面气体系统管理团队

5.作业程序

5.1气体供应机台(GC/VMB)及管路毒气泄漏处理流程说明

步作业主要负责部配合作业内容说明

骤名称门部门

1警报Facility-Gas仔细查看警报内容,确认警报发生的时间,地点,气体种类及GMS中detector

确认侦测读值(与Hi及HiHi值比较)

2状况Facility-Gas1.通报ERC值班人员