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ICS29.045
CCSL90
ICMTIA
集成电路材料产业技术创新联盟团体标准
T/ICMTIABS0030—2022
台
平
息
集成电路材料产品分类
信
ClassificationofICmaterials
准
标
体
团
国
全
2022-07-04发布2022-07-31实施
中关村集成电路材料产业技术创新联盟发布
T/ICMTIABS0030—2022
目次
前言II
台
1范围1
2规范性引用文件1
3术语与定义1
平
4分类1
总则1
衬底材料1
息
掩模2
光刻材料2
电子气体3
工艺化学品8
信
抛光材料9
靶材10
封装材料11
耗材13
准
标
体
团
国
全
I
T/ICMTIABS0030—2022
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。台
本文件由中关村集成电路材料产业技术创新联盟提出并归口。
本文件起草单位：中关村集成电路材料产业技术创新联盟、有研半导体硅材料股份公司、无锡中微
掩模电子有限公司、北京科华微电子材料有限公司、欧中电子材料（重庆）有限公司、福建德尔科技有
限公司、厦门恒坤新材料科技股份有限公司、中巨芯科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、沁
平
阳国顺硅源光电气体有限公司、上海正帆科技股份有限公
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