电镜结构课件.pptVIP

*JEM-2010透射電鏡加速電壓200KV

LaB6燈絲

點解析度1.94?EM420透射電子顯微鏡加速電壓20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KV

晶格解析度2.04?

點解析度3.4?

最小電子束直徑約2nm

傾轉角度α=±60度

???????β=±30度*PhilipsCM12透射電鏡加速電壓20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KV

LaB6或W燈絲

晶格解析度2.04?

點解析度3.4?

最小電子束直徑約2nm；

傾轉角度α=±20度

???????β=±25度CEISS902電鏡加速電壓50KV、80KV

W燈絲

頂插式樣品臺

能量解析度1.5ev

傾轉角度α=±60度

???????轉動4000*21344556789101112131415161617181920*電鏡的結構與成象1.1光學顯微鏡的局限性1）一個世紀以來，人們一直用光學顯微鏡來揭示金屬材料的顯微組織，藉以弄清楚組織、成分、性能的內在聯繫。但光學顯微鏡的分辨本領有限，對諸如合金中的G.P區（幾十埃）無能為力。2）最小分辨距離計算公式其中——最小分辨距離——波長——透鏡周圍的折射率——透鏡對物點張角的一半，稱為數值孔徑，用N.A表示*3)由於光的衍射，使得由物平面內的點O1、O2在象平面形成一B1、B2圓斑（Airy斑）。若O1、O2靠的太近，過分重疊，圖象就模糊不清。O1O2dLB2B1Md強度D圖（a）點O1、O2形成兩個Airy斑；圖（b）是強度分佈。（a）（b）*圖（c）兩個Airy斑明顯可分辨出。圖（d）兩個Airy斑剛好可分辨出。圖（e）兩個Airy斑分辨不出。I0.81I*4）對於光學顯微鏡，N.A的值均小於1，油浸透鏡也只有1.5—1.6，而可見光的波長有限，因此，光學顯微鏡的分辨本領不能再次提高。5）提高透鏡的分辨本領：增大數值孔徑是困難的和有限的，唯有尋找比可見光波長更短的光線才能解決這個問題。1.2電子的波長比可見光波長更短的有：1）紫外線——會被物體強烈的吸收；2）X射線——無法使其會聚；3）電子波根據德布羅意物質波的假設，即電子具有微粒性，也具有波動性。電子波*h——Plank常數，m——v——電子速度顯然，v越大，越小，電子的速度與其加速電壓（E伏特）有關即而則埃即若被150伏的電壓加速的電子，波長為1埃。若加速電壓很高，就應進行相對論修正。（參考教材P3表1-1）*1.3電子透鏡1）電子可以憑藉軸對稱的非均勻電場、磁場的力，使其會聚或發散，從而達到成象的目的。由靜電場製成的透鏡——靜電透鏡由磁場製成的透鏡——磁透鏡2）磁透鏡和靜電透鏡相比有如下的優點目前，應用較多的是磁透鏡，我們只是分析磁透鏡是如何工作的。磁透鏡靜電透鏡1.改變線圈中的電流強度可很方便的控制焦距和放大率；2.無擊穿，供給磁透鏡線圈的電壓為60到100伏；3.象差小。1.需改變很高的加速電壓才可改變焦距和放大率；2.靜電透鏡需數萬伏電壓，常會引起擊穿；3.象差較大。*3）磁透鏡結構剖面圖圖1-2*4）磁透鏡使電子會聚的原理OO’z圖1-3（a）電子在磁透鏡中的運動軌跡AC*OO’AC圖1-3（b）A點位置的B和v的分解情況*電子在磁場中要受到磁場作用力：即圓周運動切向運動向軸運動在C處有一離心作用力，可以抵消與A點相當的向軸作用力，但A、C中心處特別大的向軸力是抵不掉的，電子繼續向軸偏轉。出磁場後又是直線運動。*所有從O點出發的電子類似的軌跡運動，在v一定時，當軌跡與軸的角度很小時，電子會聚在O’點（O）的象。平行於軸的電子運動軌跡如下圖所示O象物O’baα象物α圖1-3（c）平行光軸電子束經透鏡