飞秒激光直写晶体光波导：从铌酸锂、三硼酸锂到碳化硅的探索与应用.docx

下载文档

4
0
约2.62万字
约 21页
2025-05-26 发布于上海
举报
版权申诉
保障服务

飞秒激光直写晶体光波导：从铌酸锂、三硼酸锂到碳化硅的探索与应用.docx

1、本文档共21页，其中可免费阅读8页，需付费200金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

飞秒激光直写晶体光波导：从铌酸锂、三硼酸锂到碳化硅的探索与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，对光通信、光计算和光传感等领域的性能要求不断提高，推动了集成光子学的快速发展。光波导作为集成光子学中的关键元件，能够引导光信号在微米级截面的通道内以无衍射的方式传输，确保腔内维持相对较高的光密度，进而使块体材料原有的光学性质在波导中得以一定程度的增强，在光通信、量子信息、传感等领域发挥着举足轻重的作用，成为集成光子学领域的重点研究对象。传统的光波导制备方法如化学气相沉积（CVD）、离子交换等，存在着工序繁复、设备昂贵、材料组成受限等问题，难以满足日益增长的高性能、微型化和多