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三氯氢硅合成工艺
三氯氢硅的性质
三氯氢硅别名为硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；英文名：Trichlorosilane、Silicochloroform．三氯氢硅沸点为31.8℃，熔点为-126.5℃，自燃温度为185℃，在空气密度为1时，蒸汽相对密度为4.7，在空气中爆炸极限为1.2~90.5%(体积分数)。主要用途为单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。主要制备方法：(1)在高温下Si和HCl反响。(2)用氢复原四氯化硅(承受含铝化合物的催化剂)。
三氯氢硅在常温常压下为具有刺激性恶臭易流淌易挥发的无色透亮液体。在空气中
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