T/CIE 144-2022半导体器件可靠性强化试验方法.pdf

ICS31.020

CCSL05

团体标准

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TCIE1442022

半导体器件可靠性强化试验方法

Reliabilitenhancementtestofsemiconductordevices

y

2022-12-31发布2023-01-31实施

中国电子学会发布

中国标准出版社出版

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TCIE1442022

目次

前言…………………………Ⅰ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4一般要求…………………3

4.1试验样品……………3

4.2仪器与设备…………………………3

4.3试验环境……………3

4.4参数监测……………3

5试验方法…………………3

5.1试验程序……………3

5.2试验项目……………4

5.3试验步骤……………6

6试验报告…………………13

参考文献……………………14

/—

TCIE1442022

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国电子学会可靠性分会提出并归口。

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