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基板研究现状及进展

目录

一、内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.2基板概念界定与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.3国内外研究发展简史．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

二、基板材料体系研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.1传统硅基板的特性与应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2新型半导体衬底材料探索．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.2.1氮化镓衬底技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.2.2碳化硅衬底技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.2.3氮化铝及其他宽禁带材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.3金属有机化学气相沉积用蓝宝石基板进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.4聚晶硅等替代基板材料研究．．．．．．