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超精密加工技术在半导体制造中的微细加工工艺报告.docx

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    超精密加工技术在半导体制造中的微细加工工艺报告模板

    一、超精密加工技术在半导体制造中的微细加工工艺

    1.超精密加工技术概述

    1.1超精密加工技术定义

    1.2超精密加工技术特点

    1.3超精密加工技术方法

    2.超精密加工技术在半导体制造中的应用

    2.1芯片制造

    2.2光刻技术

    2.3微电子封装

    2.4模拟半导体器件制造

    2.5微电子设备制造

    3.实现超精密加工的技术手段

    3.1高速加工

    3.2低温加工

    3.3激光加工

    3.4机器视觉技术

    二、超精密加工技术在半导体制造中的关键工艺与应用

    2.1电火花加工在半导体制造中的应用

    2.2激光加工在半导体制造中的应用

    2.

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