基于AlGaN_GaN HEMT结构的H⁺传感器的特性与应用研究.docx

基于AlGaN/GaNHEMT结构的H?传感器的特性与应用研究

一、引言

1.1研究背景

传感器作为现代信息技术的三大支柱之一，在工业、农业、医疗、环境监测等众多领域发挥着至关重要的作用。从最初简单的机械式传感器，到后来的电气式传感器，再到如今的半导体传感器，其发展历程见证了人类科技的不断进步。半导体传感器凭借其易于集成化、微型化、灵敏度高等诸多优点，自问世以来便受到世界各国科学家的广泛关注，并且在各个行业的应用日益广泛。

半导体传感器利用半导体材料对光、热、电、磁、化学物质等外界因素变化极为敏感的特性制成，种类丰富多样，能够实现对多种物理量、化学量和生物量的精确检测，具备类似于人类感官